比抵抗計・センサ

メトラー・トレド・グループは、精度の高い測定機器と関連サービスを工業分野のお客様へ提供することに特化した企業活動を行っています。2016年度、メトラー・トレドは約25億USドルの売上を計上しました。株式はニューヨーク証券取引所に上場しています。

半導体チップのウェハーサイズの大面積化、回路線幅の微細化が進むにつれ、超純水の品質に対する要求は高まり続けます。水の純度の測定は、極めて高純度の水で確実に動作する比抵抗計で実現できますが、これには課題が存在します。

長年にわたり、比抵抗測定システムは純水製造の現場を支えてきました。比抵抗測定システムはその測定値の信頼性と耐久性の高さから、数年前までは新しい純水製造システムが設計されてもその重要性は認識されていませんでした。比抵抗測定システムがプラントの定期点検（1年または半年ごと）のメンテナンス時に見落とされてしまうことも多々ありました。

導電率の逆数である比抵抗の測定は、マイクロエレクトロニクス業界で超純水の品質維持に必要なモニタリングの最も重要なパラメータです。優れた安定性の比抵抗測定は、半導体製造での高品質製品の生産に必要不可欠です。

半導体産業は、ウェハーあたりのチップ数の増加、そして1桁のナノメートル範囲における線幅の狭さに対する需要の高まりを背景に持ち、急速に進歩しています。これらの課題解決のため、超純水の水質モニタリング・制御を実施し、ウェハーの歩留まりに悪影響を及ぼす可能性がある、イオン性不純物の検出の必要性があります。