Cond Sensor UPW 3/4NPT 0.1C Ti 2
2極式比抵抗計.UPW UniCond 2極式比抵抗計は、半導体産業の超純水アプリケーションにおいてクラス最高の精度、安定性、環境分離を実現するため、業界のパートナーと共同で開発されました。
業界をリードする測定精度
UPW UniCondセンサーは比類なき温度補正比抵抗精度を実現し、水質を可能な限り明確に把握することができます。
クラス最高の信号の安定性
強化されたメトラー・トレド ソーントンの比抵抗測定技術は、UPWの他のセンサーに比べてUPW UniCondの信号ノイズを10倍低減します。
環境分離
堅牢な構造と温度補正により、比抵抗の観測される変化は、環境的要因ではなく、水質によるものとなります。
品番: 30819342
特徴
すばやく、簡単に設置が可能
ISMのプラグアンドメジャー機能は、関連するすべてのステータスおよび設定情報がセンサに保存され、起動時にセンサから変換器に自動送信されるため、センサの設置がスピーディかつ簡単になります。
トレーサビリティの容易さ
識別、校正、メンテナンスデータはUniCondセンサーに保存されるため、簡単にトレースできます。センサは厳格なNISTトレース可能校正要件を満たしています。
非常に安定したデジタル信号
ISM技術により、比抵抗の測定値が非常に安定した堅牢なデジタル信号に変換され、変換器に出力されるため、比抵抗のわずかな変化にもセンサーが迅速に反応できます
標準フィッティングへの容易な統合
比抵抗計の業界標準のNPTMフィッティングは、ほとんどの超純水の設置に適しています。
仕様
仕様 - Cond Sensor UPW 3/4NPT 0.1C Ti 2
| 温度センサ | Pt 1000 RTD, Class A |
| セル定数 | 0.1 cm-1 |
| 安定性 | 0.003 MΩ∙cm リンスアップ後の標準的なばらつき |
| 測定技術 | 導電性 |
| 継手材質 | PTFE/SS |
| 挿入長 | 34mm |
| モデルファミリー | 2極式センサ UniCond |
| 動作範囲 (MΩ-cm) | 1 MOhm – 50 MOhm |
| 精度 | 1～10 MΩ·cm：≤ ±1% 補正 @ 25°C 30～50 MΩ·cm：≤ ±1% 補正 @ 25°C 10～30 MΩ·cm：≤ ±0.5% 補正 @ 25°C |
| 防爆(危険場所)認証 | なし |
| 測定圧力抵抗 | 17 bar @ 93 °C |
| 電極材質 | チタニウム |
| 主な媒体/アプリケーション | 半導体用水 |
| 衛生/生体適合性の承認 | なし |
| プロセス継手 | ¾" NPTM |
| 電極構成 | 2電極 |
ドキュメント
データシート
ケーススタディ
ある大手半導体製造業者は、現在入手可能な機器の性能を上回る比抵抗センサを必要としていました。メトラー・トレド Thorntonは、比抵抗測定の新しい標準を打ち立てるセンサを開発しました。
アプリケーション
半導体製造に使用される超純水は非常に高い純度ですが、ウェーハの歩留まりに影響を与える可能性のある微量レベルのイオンが含まれています。その結果、耐水性の正確なモニタリングがこれまで以上に重要になっています。補償された比抵抗測定で≥0.5%の精度を達成できるセンサをご覧ください。
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